Parastina jîngehê bêtir û bêtir baldarî tê dayîn, nemaze bi zêdebûna hewaya haze. Endezyariya odeya paqij yek ji pîvandinên parastina jîngehê ye. Meriv çawa endezyariya paqijkirinê bikar tîne da ku di parastina jîngehê de karekî baş bike? Ka em li ser kontrola di endezyariya odeya paqij de bipeyivin.
Kontrola germ û humidity di odeya paqij de
Germahî û humîna deverên paqij bi piranî li gorî pêdiviyên pêvajoyê têne destnîşankirin, lê dema ku hewceyên pêvajoyên civînê, pêdivî ye ku rehetiya mirovî were girtin. Bi başkirina daxwazên paqijiya hewayê, di pêvajoyê de hewcedariyên hewcedariyên hewayê heye.
Wekî rêgezek gelemperî, ji ber zêdebûna rastîn a pêvajoyê, daxwazên ji bo qada germahiya germbûnê piçûktir û piçûktir dibin. Mînakî, di lîtografî û pêvajoya hilberîna mezin a hilberîna mezin a yekbûyî de, cûdahiya di navgîniya berfirehbûna germî de di navbera kef û wafên silicon de ku wekî materyalên mask têne bikar anîn piçûktir dibe.
Waferek silicon a ku diameterek 100 μ m dibe sedema berfirehbûna linear a 0.24 μ m gava ku germahî ji hêla 1 pileyê ve zêde dibe. Ji ber vê yekê, germahiyek domdar a ± 0.1 ℃ pêdivî ye, û nirxa humidity bi gelemperî ji ber ku piştî şûştinê kêm e, dê di xebatkarên nîvgirava ku ji sodium de ditirse. Divê ev celeb komxebat ji 25 zêdetir nebin.
Zehmetiya zêde dibe sedema pirsgirêkan. Gava ku humidiya têkildar ji% 55 derbas dibe, dê kondensasyonê li ser dîwarê ava sarbûnê ava bibe. Ger ew di cîhazên rastîn an jî cûrbecûr de pêk tê, ew dikare bibe sedema qezayên cihêreng. Gava ku humidiya têkildar% 50 e, hêsan e ku meriv rust bike. Wekî din, dema ku şilbûn pir zêde ye, axa ku li ser rûyê wafer silicon tê hesibandin dê bi kîmyewî li ser rûyê erdê were qewirandin, ku ji bo rakirina dijwar e.
Hêjeya têkildar a bilindtir, dijwar ew e ku meriv adhesion were derxistin. Lêbelê, dema ku şidetiya têkildar ji% 30-ê ye, parçeyên bi hêsanî li ser rûyê erdê ji ber çalakiya elektrostatîk, û hejmareke mezin ji amûrên semiconductor in. Rêzeya germahiya çêtirîn ji bo hilberîna Silicon Wafer 35-45% e.
Zexta hewakontrolli odeya paqij
Ji bo pêşîlêgirtina herî paqij, ji bo pêşîgirtina li berberdana derve ji dagirkirinê, pêdivî ye ku zexta navxweyî (zexta statîkî) ji zexta derve (zexta statîkî) bilind bike. Pêdivî ye ku cûdahiya zextê bi gelemperî bi prensîbên jêrîn re têkildar be:
1. Divê zexta li cihên paqij ji yên li deverên paqij ên ne paqijtir be.
2 Zexta di cihên bi astên paqijiya bilind de divê ji wan di astên cîran de bi astên paqijiya kêm re bilindtir be.
3 Divê derîyên di navbera odeyên paqij de li ber odeyên bi astên paqijiya bilind werin vekirin.
Parastina cûdahiya zextê li ser mîqdara hewayê ya nû ve girêdayî ye, ku divê bikaribe ji bo tezmînata hewayê ji gapê di bin vê cûdahiya zextê de bide. Ji ber vê yekê wateya fîzîkî ya cûdahiya zextê berxwedana hewayê (an dorpêçkirinê) ye ku di hundurê odeyên paqij de diherike.
Demjimêra paşîn: Jul-21-2023