Bi taybetî bi zêdebûna hewaya hewayê re, balê dikişîne ser parastina jîngehê.Endezyariya odeya paqij yek ji tedbîrên parastina jîngehê ye.Meriv çawa endezyariya odeya paqij bikar tîne da ku di parastina jîngehê de karekî baş bike?Ka em di endezyariya odeya paqij de li ser kontrolê biaxivin.
Kontrolkirina germahî û şilbûnê li odeya paqij
Germahî û nemahiya cîhên paqij bi giranî li gorî hewcedariyên pêvajoyê têne destnîşankirin, lê dema ku hewcedariyên pêvajoyê bicîh tîne, rehetiya mirovî divê were hesibandin.Bi başkirina hewcedariyên paqijiya hewayê re, di pêvajoyê de meylek hewcedariyên hişktir ên germahî û nermbûnê heye.
Wekî prensîbek gelemperî, ji ber zêdebûna rastbûna pêvajoyê, hewcedariyên ji bo guheztina germahiyê piçûktir û piçûktir dibin.Mînakî, di pêvajoya lîtografî û pêşandanê ya hilberîna dorhêla yekbûyî ya mezin de, ciyawaziya rêjeya berfirehbûna germî ya di navbera cam û silicon waferên ku wekî materyalên maskê têne bikar anîn de her ku diçe piçûktir dibe.
Waferek silicon a bi 100 μ m dema ku germahî bi 1 dereceyê bilind dibe dibe sedema berbelavbûna rêzikî ya 0,24 μm.Ji ber vê yekê, germahiyek domdar ± 0,1 ℃ hewce ye, û nirxa nermiyê bi gelemperî kêm e ji ber ku piştî terbûnê, hilber dê qirêj bibe, nemaze li atolyeyên nîvconductor ku ji sodyûm ditirsin.Ev celeb atolye divê ji 25℃ derbas nebe.
Nemiya zêde dibe sedema zêdetir pirsgirêkan.Dema ku nemahiya têkildar ji 55% derbas bibe, dê li ser dîwarê lûleya ava sarbûnê de kondensasyon çêbibe.Ger ew di cîhazên an dorhêlên rast de çêbibe, ew dikare bibe sedema qezayên cihê.Dema ku nemahiya têkildar% 50 be, ew bi hêsanî zirav dibe.Digel vê yekê, dema ku nembûn pir zêde be, toza ku li ser rûbera wafera siliconê disekine, dê bi riya molekulên avê yên li hewayê, ku rakirina wê dijwar e, bi kîmyewî li ser rûyê erdê were kişandin.
Nemahiya têkildar çiqasî bilindtir be, rakirina adhesionê ew qas dijwar e.Lêbelê, gava ku nemahiya têkildar di binê 30% de be, ji ber çalakiya hêza elektrostatîk, pirtik jî bi hêsanî li ser rûyê erdê têne kişandin, û hejmareke mezin a amûrên nîvconductor mêldarê hilweşandinê ne.Rêjeya germahiya çêtirîn ji bo hilberîna wafera silicon% 35-45 e.
Zexta hewayêkontrolli odeya paqij
Ji bo pir deverên paqij, ji bo ku rê li ber gemariya derve neyê girtin, pêdivî ye ku zexta hundurîn (zexta statîk) ji zexta derveyî (zexta statîk) bilindtir were domandin.Parastina cûdahiya zextê bi gelemperî divê li gorî prensîbên jêrîn tevbigere:
1. Divê zexta li cihên paqij ji ya li cihên ne paqij zêdetir be.
2. Divê zexta li cihên ku asta paqijiya wan bilind in, ji ya li cihên cîran ên bi asta paqijiya kêm bilindtir be.
3. Divê deriyên di navbera odeyên paqij de ber bi odeyên xwedî asta paqijiya bilind ve werin vekirin.
Paqijkirina cûdahiya zextê bi mîqdara hewaya teze ve girêdayî ye, ku divê bikaribe ketina hewayê ji valahiya di bin vê cûdahiya zextê de telafî bike.Ji ber vê yekê wateya laşî ya cûdahiya zextê berxwedana leaksiyonê (an ketina hewayê) ya hewayê ye ku di nav valahiyên cihêreng ên di jûreya paqij de ye.
Dema şandinê: 21-ê Tîrmeh-2023